技术编号:33244564
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于包装盒清洗技术领域,具体涉及一种晶片包装盒清洗干燥设备。背景技术.晶片制造商加工完成后的epi-ready晶片,表面洁净度要求非常高,对于包装盒的洁净度也要求非常高。包装盒供应商交付的包装盒需要在使用前再进行清洗并干燥后供晶片包装使用。目前主流的包装盒干燥设备,是采用腔体内堆叠放置,通过向腔室内不断吹入加热后的氮气进行烘干。包装盒在专用架子上码放好后进入烘干机后的状态,上方淋水冲洗包装盒后,腔体内吹入热氮气烘干,包装盒完全烘干需要很长时间,干燥设备干燥过程需要用热氮气来烘干包...
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