技术编号：3324624
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种气体预热装置，预热管位于预热筒内，并且预热管外表面的阶梯与预热筒内表面的阶梯在轴向上相互交错分布。多个预热筒气流板和多个预热管气流板交替套装在预热管的圆周上，并使各预热筒气流板的外缘均安放在预热筒内表面的各层阶梯的端面上，使各预热管气流板的内缘均安放在预热管外表面的各层阶梯的端面上。本发明竖直安放在承料板上，不占用有效的反应空间，能够将化学气相沉积炉的利用率最大化。通过若干气流板增加了预热装置内部的受热面积，延长了反应气体的流通路径和滞留时间，提高了预...
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