技术编号：33250049
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及工业检测技术领域，特别涉及一种切换装置、光源组件及检测设备。背景技术.光学检测设备在检测待测样品时，依据不同待测样品的表面反射或散射的特性，往往需要在不同的光照条件下对不同的待测样品进行检测，例如，半导体晶圆由于工序及工艺不同，其表面特性存在很大差异，裸硅及工艺少的晶圆表面反射特性明显，多层工艺及镀膜后的晶圆其散射特性更显著，基于以上晶圆表面特征的差异，在对其进行检测及量测的时候，需要根据不同晶圆表面特性找到合适的光源照明强度及颜色，使得其特征清晰易见，以方便后续判断。为了获得不...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。