技术编号：3326967
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多弧离子镀膜机，具体是一种多弧离子镀膜机的间接水冷靶座电弧蒸发源。包括引弧机构、靶块、不锈钢靶座、电弧屏蔽盘、电弧调节套、绝缘套、水管、电磁装置，所述靶块与所述不锈钢靶座之间设置有紫铜板，所述紫铜板正面与所述靶块紧密接触，紫铜板外边缘与不锈钢靶座焊接为一体。本实用新型取消了靶块与靶座之间的密封圈，利用紫铜传热效率高的特点，将紫铜板与不锈钢靶座体焊接成一体形成靶块的间接水冷结构，从根本上解决了由于密封圈老化失效或密封不严造成漏水和漏气，严重影响...
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