技术编号：33277480
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种mems器件及其制造方法技术领域.本发明涉及半导体技术领域，具体而言涉及一种mems器件及其制造方法。背景技术.基于微机电系统（mems）工艺制备形成的mems麦克风，因与传统麦克风相比具有体积小、成本低且性能稳定等优点而被广泛应用。.吸合电压是mems麦克风的一个重要参数指标，只有吸合电压处于一定的阈值电压范围内，mems麦克风才能正常工作。然而，传统的mems麦克风的制备工艺中，由于振膜结构和形成空腔时氧化物释放工艺过程的波动，导致mems麦克风的吸合电压也会有所波动，当吸合电压高...
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