技术编号:33280164
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种废水处理方法,特别是涉及一种含,-二氧六环的光刻胶显影剂废水处理方法。背景技术.电子级,-二氧六环(,-dioxane)是生产光刻胶显影剂的重要原料。目前国内尚无批量生产该原料的厂商,相关的生产工艺也为日韩等跨国公司所垄断,国内芯片行业只能以高价向国外求购。另一方面,,-二氧六环具有致癌性,不能直接排放。因此,从原料利用和环保方面讲,从含,-二氧六环的光刻胶显影剂废水中回收,-二氧六环具有极大的经济意义和环保意义。.对含,-二氧六环的光刻胶显影剂...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。