技术编号：3331564
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种连续快速生长石墨烯的气相沉积装置，旨在解决石墨烯在基体上的快速连续生长问题，同时解决能量和原料无法得到有效利用的问题。通过卷材在反应腔体中U型排列或S型排列，实现了在反应腔体的一端连续进样和取样，连续生产；卷材的U型排列或S型排列有效利用了反应腔体内的空间，同时在相同生长时间内因卷材的多次卷绕提高了生长效率有效利用了能量，节约了成本；石墨烯在反应腔体内以卷材为基体快速生长，有效利用了反应腔体内的生长气体，节约了成本，提高了生产效率。专利...
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