技术编号：3331572
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种用于碳化硅外延生长的化学气相沉积装置，包括圆柱形的反应腔；反应腔的外部设置有内部中空的感应线圈，感应线圈环绕于所述反应腔的周围；反应腔内部设置有多个石墨舟、多个圆环形的保温环、三路进气导管和一路排气导管；多个保温环堆叠放置，每一个保温环的中心位置设有一个方形的通孔，且每一个所述通孔内设有一个石墨舟；三路进气导管和一路排气导管分别设置于保温环的两侧；石墨舟包括底座、托盘和上盖；保温环包括第一主体部件和第二主体部件。所述化学气相沉积装置能够...
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