技术编号：33341887
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于晶棒检测台技术领域，尤其是涉及一种晶棒竖直放置的检测台。背景技术.晶棒是由单晶炉直拉单晶的方式生成的圆柱形棒体，为了保证后面工序的生产质量，需要对晶棒进行一系列的检测。在检测过程中，为了方便检测，有时需要将晶棒竖直放置。由于晶棒的长度较长，竖直放置时尤其是旋转时很容易倾倒，为了防止晶棒倾倒影响检测，在现有技术中，通常在晶棒的一个端面设置类似机床的三爪卡盘的夹具，将晶棒的一个端面夹住，但由于夹具与晶棒端面刚性接触，应力过于集中，很容易造成晶棒崩边，损坏晶棒。实用新型内容.为解...
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