技术编号:33371540
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体制造设备技术领域,特别是涉及一种气体喷射器的安装治具。背景技术.半导体刻蚀设备安装有气体喷射器,用于经气体管道的工艺气体通过气体喷射器的内圈和外圈进行分配。.在现有技术中,在半导体刻蚀设备安装气体喷射器时,没有协助安装的治具,主要依靠工程师的手感进行该作业。气体喷射器多为石英或者陶瓷材料,石英或者陶瓷材料质地比较脆,容易损坏。在将气体喷射器安装至刻蚀设备的盖板的安装过程中,由于气体喷射器与安装孔之间的间隙小,没有专用安装治具辅助安装气体喷射器时,容易出现气体喷射器损坏。例...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。