技术编号：33389113
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种热式流量传感器结构。背景技术.流量测量在工业控制、生物医疗、智能家居、汽车、环境监测等领域有着越来越广泛的应用。mems热式流量传感器因灵敏度高、量程比宽、响应时间快、质量流量测量、功耗低等独特优势越来越受关注。mems热式质量流量传感器一般有两种典型的结构，一种是悬空膜结构，隔热腔体是从衬底背面刻蚀形成腔体，敏感单元在隔热腔体上形成热膜式结构。一种是悬臂桥结构，隔热腔体从正面刻蚀形成腔体，敏感单元在隔热腔体上形成悬臂桥结构。上述两种结构的关键是在保证传感...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。