技术编号：33393616
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种增强涂层与基材表面结合强度的方法及应用。背景技术.等离子体在半导体和显示工业中广泛用于蚀刻和清洗，在这些过程中使用的陶瓷部件，如电极、淋浴喷头、衬垫和聚焦环都暴露在等离子体中。这些部件会受到腐蚀产生污染颗粒，降低部件使用寿命，对产品生产造成严重后果。为解决这一问题，一直以来的做法是通过在这些部件上添加性能优异的涂层对部件进行表面改性。氧化物陶瓷涂层及含有稀土元素的涂层，如yo、yof、yalo、yalo、yf等，由于其硬度、高耐磨性、介电强度、高腐蚀性和化学稳定性...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。