技术编号:33422194
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一氟甲烷的制备方法,具体涉及一氟甲烷中六氟乙烷的脱除方法。背景技术.电子气体是发展集成电路、光电子、微电子,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料,它被称为电子工业的“血液”和“粮食”。一氟甲烷是一种绿色、高效的电子特气,用于半导体及电子产品的刻蚀。在刻蚀工艺中,一氟甲烷纯度对组件性能和产品优良率具有决定性影响,即使百万分之一的微量杂质进入工序也会导致产品的不合格率迅速增加,因此市场对电子气体的纯度要求越来越高,基本要...
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