生产含氧化铟的层的方法,通过该方法生产的含氧化铟的层及其用途的制作方法技术资料下载

技术编号:3344486

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生产含氧化铟的层的方法,通过该方法生产的含氧化铟的层及其用途本发明涉及一种生产包含氧化铟的层的方法,涉及到通过本发明的方法生产的包含氧化铟的层及其用途。与许多的其他方法例如化学气相沉积(CVD)相比,依靠印刷和其他液体沉积方法来生产半导体电子部件能够简化加工エ艺和产生显著更低的生产成本,因为半导体能够在此以连续的エ艺来沉积。此外,在低的加工温度情况下,还开辟了下面的可能性在柔性基材上工作,并且可能(特别是在非常薄的层的情况中,和特别是在氧化物半导体的情况中...
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