技术编号:33478310
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及硅片切割设备技术领域,具体为一种三主轴三电机驱动的硅片切割设备。背景技术.随着光伏产业持续发展,光伏用硅片的需求越来越大,早期的金刚石硅片尺寸较小,大量使用*mm的硅片,随着产品迭代,硅片尺寸逐渐提升到*mm或*mm,硅片是硅锭被切割获得的,其中,金刚石线切割占切割份额的较大比重。.现有技术中,金刚石线切割设备一般为双轴辊单驱动的形式,轴辊上绕制一圈圈的金刚石线,金刚石线在轴辊上弯曲°,且只有一个轴辊进行主动旋转,另一个轴辊则是被动旋转...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。