技术编号：3348330
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在金属底材上制备超润滑复合碳薄膜材料的方法。 背景技术固体超润滑研究是近年来迅速崛起的一项高技术研究。它是指在无液体润滑 剂存在的情况下，采用固体润滑或自润滑表面工程技术，使固体摩擦副之间具有 10—3以下摩擦系数，并具有优异磨损性能的新型润滑技术。这样的摩擦系数可以满足高装备对于高精度、高可靠性和高传输效率方面的要求。特别是利 用各种物理气相沉积和化学气相沉积技术制备的碳薄膜材料(金刚石薄膜、类金 刚石薄膜、碳氮薄膜等)引起了摩擦学研究者的...
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