技术编号：3349961
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属半导体微电子、纳电子，具体涉及。 背景技术 在未来几十年内由于传统的“由上到下”微电子工艺受经典物理学理论的限制，依靠这一工艺来减小电子器件尺寸将变得越来越困难，但摩尔定律指出在微处理器上晶体管的数量在18个月内就要翻一番，将越来越多的单元电路集成在一个芯片上，带来的结果是半导体器件尺寸的持续缩小。随着器件尺寸进入纳米尺度，并最终到达22纳米的物理极限时，受量子效应及小尺寸效应的影响，器件的工作原理将完全改变，原有的半导体材料、工艺将不能够满...
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