技术编号：3351694
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在例如塑料和玻璃等材料的表面上形成薄膜的工艺及设备，更具体地涉及形成薄膜的工艺及设备，能够以良好的重复性在短时间内形成具有稳定光学特性的薄膜，而且有利于在眼镜片上形成抗反射膜。背景技术 在用于形成膜的在物品上形成薄膜的工艺中，已知通过按在过程期间连续变化的光学膜厚度决定的测量值与测量的基准值相一致的方式控制飞扬的(in flight)膜形成材料的数量能够以良好的稳定性和重复性自动地大量生产具有一致的光学特性分布的薄膜。例如，在日本专利申请特许公开...
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