技术编号:3354925
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种非金属材料的工业化提纯生产技术,特别是半导体 基础材料超高纯砷的生产用蒸馏炉的技术。技术背景目前高纯砷的生产方法有氯化精馏法、铅熔池升华法和砷化氢裂解法, 它们的共同缺陷是生产成本高、批量小,不能适应市场需求。另外,氯化精 馏法又存在投产成本高、生产用塔易损坏、产品质量不稳定、生产过程中易 产生三氯化砷气体泄漏、生产过程存在安全隐患;铅熔池升华法存在质量不 能达标;砷化氢裂解法存在砷化氢毒气泄漏的安全隐患。申请号为 20061003954...
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