技术编号:3361516
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种抛光装置,尤其是涉及一种电流变摆轴圆筒抛光装置,属于超精密光学表面加工工具领域。 背景技术随着光电产业的迅猛发展,对所用光学元件质量要求越来越高,这促进了人们对 光学元件加工装置的研究。传统的光学抛光方法是完全依靠手工基于氧化铈抛光液的沥青 抛光,这种抛光过程是不可重复的、非确定性的,所费时间长且不可确定。进入新世纪,以计 算机控制光学表面成形(CC0S)、应力盘抛光(Stressed Lap Polishing)、离子束抛光(Ion Pol...
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