技术编号：3362990
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种镀膜技术，且尤其涉及一种气体分布喷洒模块(gasdistribution shower module)与镀膜设备。背景技术随着镀膜工艺的进步，在化学气相沉积(CVD)的镀膜过程中，如何能够均勻喷洒气体到CVD腔体中已成为镀膜设备的设计重点之一。目前以CVD镀膜设备中的喷洒头 (shower head)是最常用来改善气体均勻度的构件。而一般喷洒头的设计方式，如图1所示。在CVD腔体100中有一金属圆板状的喷洒头102，其中钻有许多对称气孔104...
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