技术编号:3363052
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及磨具,更具体地,涉及适用于有机材料,如树脂或涂布的膜的光洁度加工用的片状磨具。背景技术 当具有平的研磨层的磨具用在研磨过程中时,不可能得到稳定的研磨效果和研磨准确度。这是因为研磨废料聚集在磨具和要研磨的表面之间,结果导致要研磨的表面被废料刮伤,或者研磨废料粘着在要研磨的表面上,导致研磨准确度的降低。为了解决这个问题,已知的一种工艺是在磨具的表面上形成一些突起和凹陷,使得研磨废料和剥落下来的磨具颗粒收集凹陷中,由此将它们除去。例如,日本专利公开公报...
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