一种接触式位移测量装置的制作方法技术资料下载

技术编号:33631816

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.本发明涉及位移测量技术领域,具体涉及一种接触式位移测量装置。背景技术.现有技术中的光纤位移传感器主要使用光纤光栅测位移,由于光栅本身受温度的影响较大,因此难以在宽温区范围内实现超高精度的测量;其次现有技术的光栅本身变形小,需要通过结构设计以实现量程放大目的,但该种方式导致迟滞性误差难以避免。再者光栅长期处在绷紧的状态,导致使用寿命也比较短。此外,现有的接触式位移测量装置的移动部件的运动不平稳,从而导致测量精度差。相关技术中的测量装置还存在工作温度范围有限、迟滞性误差大、易疲劳寿命短、重复性...
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