技术编号:33704626
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请属于硅片处理领域,具体地说,涉及一种叠片处理装置及方法。背景技术.硅片经过分选机分选检测后,要根据分选后的等级对硅片进行分类收片,将不同等级的硅片收至不同的料盒中,若干张硅片以叠片的形式放置在料盒内。.在对叠片进行打包处理前,需要人工对叠片的表面进行检查,并将合格的叠片进行打包处理,在对叠片打包的时候,需要人工为叠片加垫纸,防止污染硅片。.目前对于叠片的检查、加纸是通过人工进行,这种方式效率较低,不利于叠片处理的效率提升。发明内容.针对当前由人工处理叠片的效率较低的问题,本申请...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。