技术编号：3371215
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于金属材料表面沉积超硬多层涂层，具体为一种钛/氮化 钛多层薄膜的沉积装置。它是在同一个真空室中，通过交替通入不同气体，开启电弧蒸发源 沉积超硬多层薄膜，可以实现多层薄膜厚度的精确控制，以提高多层薄膜硬度和耐磨性。技术背景目前，多层薄膜的沉积一般采用旋转工件到相应的靶(如纯钛或铬靶)前，或是 交替通入不同气体(如Αι^Π N2)等方法，可以实现多层薄膜(前者如TiN/CrN，后者如Ti/ TiN)的沉积。而对于Ti/TiN类金属/氮化物(也可以是...
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