技术编号:33721180
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及超声换能器技术领域,更具体的是涉及一种柔性超声换能器阵列及其制备方法。背景技术.超声成像是医疗诊断与工业无损探测的重要手段,其中技术核心在于超声换能器等电子器件的运用,相比于传统换能器笨拙、界面刚性和使用局限,柔性超声换能器具有结构轻薄、适用复杂曲面,具有良好的声学性能、电学性能和机械性能。.基于柔性超声换能器的发展,现有制备工艺主要包含压电材料(包含背衬层和匹配层)、柔性衬底、柔性电路封装以及器件封装等,其中科研重点与难点在于拉伸形变的柔性结构设计以及相应材料的微纳制备技术的...
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