技术编号:33734697
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。与cmos兼容的短波长光电检测器技术领域.本发明大体上涉及光电检测器,且更具体地说,涉及用于通信系统的光电检测器。背景技术.随着半导体集成电路变得更加复杂并以更高的速度运行,人们越来越希望在ic的不同部分之间,甚至在数个芯片(或小芯片)之间实现有效的信息流。这可以是简单的时钟分布,也可以是处理器和存储器之间更复杂的数据传送,或者是不同逻辑块交换数据。.ic内或ic之间几乎总是通过在ic上方光刻形成的多个金属层(重布层(rdl)和后段生产线(beol)层、封装中的布线、插入ic和封装之间的插...
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