技术编号:33743375
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请属于显示技术领域,尤其涉及一种显示装置及其制备方法。背景技术.随着显示技术的不断发展,应用薄膜晶体管的显示装置得到了广泛应用,如手机显示屏、电脑显示屏等。薄膜晶体管通常采用半导体材料制备,如非晶硅半导体材料、多晶硅半导体材料、氧化物半导体材料等。其中,氧化物半导体材料因具有较高的迁移率以及较为简化的制备工序,在大尺寸、高分辨率的显示装置中具有优势。.现有技术中,氧化物薄膜晶体管的结构有刻蚀阻挡层型和背沟道刻蚀型。其中,刻蚀阻挡层型薄膜晶体管虽能够保护氧化物半导体,但增加了制备工序以...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。