一种单光子雪崩二极管器件、检测电路、激光雷达、制备方法、驱动方法及测距方法与流程技术资料下载

技术编号:33787383

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.本申请涉及半导体技术领域,特别涉及一种单光子雪崩二极管器件、检测电路、激光雷达、制备方法、驱动方法及测距方法。背景技术.激光雷达,是以发射激光束探测目标的距离、速度等特征量的雷达系统,在自动驾驶中承担了路沿检测、障碍物识别以及实时定位与绘图等重要任务。激光雷达包括光电探测器,其中,一种光电探测器是单光子雪崩二极管(single photon avalanche diode,spad),spad是一种工作在盖革模式下的雪崩二极管。单光子在spad中性体区或者耗尽区内产生载流子,通过扩散或者漂...
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