技术编号：3380240
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种大型平面的超精密自动化加工装置。 技术背景大型平面在精密测量、精密机械等领域得到广泛应用。如精密测量平台、机床导轨平面、机床工作台、大型精密光学平面、大型精密平面磨具等。这些精密的大型平面零件对表面精度和表面质量要求极高。如激光核聚变装置所用的大口径光学元件KDP晶体 (450mm X 450mm)要求表面PV值达到λ/4 (λ = 0. 63 μ m)。用于加工塑料薄膜的精密模具核心部件-大型挤出平模头要求每100平方毫米平面度要求为0...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。