技术编号：33803358
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体是一种箱式真空镀膜机冷却装置。背景技术.真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，属于物理气相沉积工艺，真空镀膜技术广泛应用到电子、宇航、包装、光伏等技术领域，当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效，因此使用时需要冷却装置对镀膜机进行冷却处...
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