技术编号:3380693
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种研磨盘,特别涉及一种合成铜盘研磨盘。 背景技术特殊工件对于其表面的平整度有要求,如LED芯片、LED衬底、LED显示屏光学晶体、硅片、化合物晶体、液晶面板、宝石、陶瓷、锗片、金属工件等,通常这些工件表面的平整工艺需要研磨盘,再配以研磨液进行抛光。由于研磨盘需要与研磨液配合使用,需要定期对研磨盘进行清洗,在对大量工件进行磨削的过程中,会降低磨削速率。对于较大工件的磨削,现有的研磨盘不利于工件的嵌入,从而降低了工件的出产率和完成率。并且现有的...
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