技术编号：33877811
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及电子及半导体设备制造技术领域，具体来说，涉及一种冷却液循环利用控温装置。背景技术.在电子及半导体设备制造过程中，需要进行严格的温度控制，在维持所需温度的过程中，需要提供一定的制冷量，抵消工艺过程中的热负荷，温控系统作为电子及半导体制造的辅助设备，通常通过制冷系统、循坏管路及储水装置提供冷却液，用以准确控制输出温度。.经过检索后发现，公开号为cnu，名称为冷却液供给装置及温控系统，该申请提出了现有的技术方案通常仅包括一个冷却液储存箱，该冷却液储存箱与制冷系统...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。