技术编号：3388175
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密超精密加工领域，尤其是一种半固着磨粒磨具。技术背景磨粒加工是目前精密超精密加工的主要手段。磨粒加工又可大致 分为游离磨粒加工(包括研磨和抛光)和固着磨粒加工(如超精密磨 削)两类。固着磨粒加工具有高材料去除效率的特点，其加工精度曰 益逼近游离磨粒加工，但要求使用价格高昂的高精度、高刚性设备， 且由于强制进给引起的加工变质层较深，严重影响了产品的使用性能 和寿命。所以，目前精密超精密加工仍以游离磨粒加工为主流。游离 磨粒加工对设备精度要求不高，...
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