技术编号：33916265
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及废气处理技术领域，具体为一种氨氮废气回收及资源化处理系统。背景技术.led行业外延片生产过程中氨气作为反应气体进入mocvd腔体中，少部分氨气和金属合成气反应生成氮化镓，大部分未反应的氨气随载流气体氮气和氢气外排进入废气处理系统进行处理。氨气为一种无色气体，有强烈的刺激气味，容易被液化成无色的液体，在常温下加压即可使其液化。氨气在高温时会分解成氮气和氢气，有还原作用，在有催化剂存在时可被氧化成一氧化氮，其可用于制液氮、氨水、硝酸、铵盐和胺类等。同时氨气有一定的毒性和危害性，对...
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