技术编号：33919226
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及粗糙度的测试治具。背景技术.目前半导体生产设备中的屏蔽罩进行洗净再生后，会用粗糙度仪检测屏蔽罩的内圆面的粗糙度，从而判断其清洗效果是否在管控标准内。.由于屏蔽罩的内圆面为圆柱形状，粗糙度测试仪的行程是直线，所以，需要将部件竖立使粗糙度检测仪的探针沿着一条棱边行进。由于屏蔽罩的外口有翻边，屏蔽罩单纯背部抵靠的方式，易造成竖立状态滑到，或竖立不标准造成检测数据有误差。.目前缺乏一种让带有翻边的屏蔽罩保证竖立稳定性的治具。实用新型内容.针对现有技术存在的...
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