技术编号：33921955
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及支脚座技术领域，特别涉及一种光刻机的可调支脚座。背景技术.光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统和光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上；在光刻机的安装过程中，需要使用到支脚座。.公开(公告)号：cnu，申请号：cn.公开了一种光刻机的可调支脚座，包括支脚座本体，所述支脚座本体外表面等距开设有安装槽，所述支脚座本体外表面中部套接安装有固定套管，所述固定套管底端等距焊接...
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