技术编号：3394355
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用以获得超高真空的离子溅射泵，更具体地说，涉及便于外部烘焙的离子溅射泵。结构简单牢固，较易获得无油超高真空的离子溅射泵广泛用于电子管和加速器的电子注系统等的排气。但是，此泵是用积存排气气体方式排气的泵，因为是通过用所溅射的阴极材料化学吸附埋置气体分子的作用进行排气，所以其性能随使用过程中放出已排气的气体等使用的滞后情况而变动。因而，为了离子溅射泵的再生，要加热阴极、阳极和泵壳的内面，进行用以予先放出所吸附埋置的气体分子使之去气的外部烘焙(250℃...
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