技术编号:33946313
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种片盒内部离子采集装置及方法。背景技术.在硅片制造过程中,装载硅片的片盒的洁净度对硅片的质量至关重要,实时监控片盒中的离子浓度,有利于及时发现片盒内部离子对硅片质量的高低的影响程度。目前,对于片盒内部的离子浓度的监控普遍采用以下方式:先采用溶液采集片盒内部离子,之后通过离子分析仪器检测溶液内离子浓度。因此,片盒内部离子采集的充分度和采集过程的洁净度对于后续的测试分析至关重要。.从离子采集均匀度来说,若离子采集不充分的话,直接后果就是测试数据偏小,不能反...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。