压阻薄膜压力传感器、机械臂或机器人、运动器材的制作方法技术资料下载

技术编号:33966458

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压阻薄膜压力传感器、机械臂或机器人、运动器材【技术领域】.本实用新型涉及压力传感器技术领域,尤其涉及一种压阻薄膜压力传感器、机械臂或机器人、运动器材。【背景技术】.压阻式薄膜压力传感器可以感应施加在其表面的压力,从而可以精确检测压力的大小,但是不能精确检测受压部位的位置。为了能够检测受压部位的具体位置,将压阻式薄膜压力传感器的电极改造成正交电极的形式,即在一层承载层(常常为顶层(top))上形成有x方向的电极,而在另一层承载层(常常为底层(bot))上形成有y方向的电极,结合之后通过检测x、...
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