技术编号：33989657
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种基于二氧化硅/聚合物混合波导的×热光开关及其制备方法技术领域.本发明属于二氧化硅/聚合物混合波导光集成芯片技术领域，具体涉及一种基于二氧化硅/聚合物混合波导的多模干涉器级联光开关及其制备方法。背景技术.光开关是用于光交换的重要器件。随着信息社会对信息量的需求量迅猛增长，用于光交换的交互端口数量迅速增加。此时对光开关的功耗提出了更高的需求。现在市场上常见的二氧化硅平板波导(plannar lightwave circuit,plc)器件具有低损耗、稳定性好、耦合效率高等有点。但是由于二...
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