技术编号：3400596
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种校正系统、垂直型盘移送装置和具有该装置的蒸镀装置，尤其涉及一种对于串列形式的薄膜蒸镀系统通过固定并支持基片来实现竖直蒸镀，并且使移送中微细粒子的影响最小而充分确保掩模板平面度的校正系统、垂直型盘移送装置和具有该装置的蒸镀装置。背景技术 一般，薄膜蒸镀工艺大致分为在真空中进行蒸镀的方法和在大气压中进行蒸镀的方法。在所述方法中，在真空中蒸镀薄膜的方法可以形成无杂质介入的高纯度薄膜，并且可以使薄膜密度相对密集地蒸镀，因而在半导体和显示元件领域中被广...
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