技术编号：3401136
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于基板沉积腔背衬板的绝缘件，尤其是由多件绝缘片条制成以绝缘背衬板的多件式绝缘件。背景技术在平面显示器的制程中由于需要在基板上制作晶体管组件，因此在制程中需要沉积上不同的材质，诸如SiO2、SiNx、a-Si及/与n+a-Si等薄膜。目前多采用等离子体辅助化学气象沉积系统(PECVD，Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition)来成长。PECVD乃是于一真空系统中，在通入制程气体后以一等离子体机台激发...
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