技术编号：34038099
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本公开的实施例涉及一种静电偏转器。背景技术.带电粒子束设备包括用于偏转带电粒子束的偏转器，带电粒子束设备可以为扫描电子显微镜(scanning electron microscope，sem)、聚焦离子束(focused ion beam，fib)、双束设备(fib-sem)、透射电镜(transmission electron microscope，tem)、扫描透射电镜(scanning transmission electron microscope，stem)或电子束曝光设备(el...
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