技术编号：3405092
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可以得到能维持良好的可见光透过率和导电性的透明导电膜的氧化镓(G^03)-氧化锌(ZnO)系溅射靶(GZO系靶)及使用 该靶形成透明导电膜的方法及由此形成的透明导电膜。背景技术一直以来，作为透明导电膜的ITO(在氧化铟中掺杂锡)膜透明且导 电性优异，用于液晶显示器、电致发光显示器等显示设备的透明电极(膜) 或太阳能电池等宽广范围的用途。但该ITO存在的问题在于，由于作 为主要成分的铟价格昂贵，因此在制造成本方面处于劣势。根据这种现状，有使用G...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。