技术编号：34061484
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种光罩检测系统及方法。背景技术.在半导体制备工艺中，光刻工艺是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，光刻工艺是利用曝光和显影在光刻胶上刻画集合图形结构，然后通过刻蚀工艺将光罩上的图形转移到衬底上，而光刻设备则是实现光刻工艺中不可或缺的工艺设备，是生产大规模集成电路的核心设备，光刻设备的正常运行是保证半导体工艺的前提。.在现有的光刻设备中，光罩在进入光刻设备的光罩存储单元之前，机台条形码读取装置会对光罩上的条形码进行读取，以获取光罩的相关信息，通过相...
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