真空多弧离子镀膜机的制作方法技术资料下载

技术编号:3407349

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本实用新型涉及一种镀膜机,尤其涉及一种真空多弧离子镀膜机。背景技术目前,真空多弧离子镀膜机是对金属表面进行镀膜的专用设备,适用于镀制装 饰膜和超硬耐磨膜。现有技术的真空多弧离子镀膜机,包括真空抽气系统、真空室、真 空室门、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的若干个弧源装置,弧源装 置包括与真空室体固定连接的法兰、设于法兰上的引弧装置和阴极水套、装在阴极水套 上的靶材、设于靶材上方的磁铁,磁铁与靶材的距离固定不变,存在对于不同靶材和工 况下,不能调...
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