技术编号：3408348
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种化学气相沉积系统，尤其涉及一种用于生产薄膜太阳能电池 的电极的低压化学气相沉积系统。背景技术薄膜太阳能电池在弱光条件下仍可发电，其生产过程能耗低，具备大幅度降低原 材料和制造成本的潜力。因此，目前市场对薄膜太阳能电池的需求正逐渐增长，而制造薄膜 太阳能电池的技术更成为近年来的研究热点。薄膜太阳能电池的制造过程是在衬底(如玻璃基板)上沉积多层薄膜以形成电极， 因此需要一整套的化学气相沉积系统。如沉积透明薄膜电极时，就需要一个低压化学气相 沉...
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