技术编号：3411124
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供ー种靶-背衬板组装体，所述靶-背衬板组装体可以延长靶的寿命并且可以在整个溅射过程中使膜的均匀性(膜厚的均匀性)良好、并且即使存在因靶材料的种类而变化的侵蚀的不同也可以容易地制造出与固有的靶侵蚀对应的高使用效率靶。背景技术通过溅射形成薄膜的方法，广泛应用于各种电子、电气部件等的制造。溅射法使用的原理如下使作为正电极的衬底与作为负电极的靶相対，在惰性气体气氛下，在该衬底与靶间施加高电压以产生电场，此时，电离的电子与惰性气体撞击而形成等尚子体，该等尚子...
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