技术编号：34114467
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及探针卡，更详细地，涉及个以上的探针被引导板支承的探针卡的改良。背景技术.探针卡是用在形成于半导体晶片的半导体器件的电特性的检查中的检查装置，在布线基板设有与半导体器件上的电极焊盘分别接触的大量探针。在将进行测试信号的输入输出的测试仪装置与探针卡连接的基础上，使半导体晶片靠近探针卡来使探针的前端与半导体器件上的电极焊盘接触，经由探针以及布线基板使测试仪装置和半导体器件导通，从而来进行半导体器件的特性检查。.图是表示现有的探针卡的一例的图(例如专利文献)。在该探针卡中，具有...
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